第八百九十五章 湿法蚀刻
“这是你们设计的方案？” 王中军将手里的文件翻的哗哗作响，边看边忍不住皱起了眉头来。 “用腐蚀剂的各向同性来制作探针，你们考虑过这里面的工作量吗？” “使用可控制侵蚀速度的硝酸和氢氟酸，我们计算过可能的配比，至少要做上千组实验。” 钟大华的声音没有多少波动，昨晚吴牧提出这个思路之后，他们俩就已经通过代理公司搜集了相关的信息，但情况却有些出人意料。 在美国的数据库里，并没有与这个思路相关的技术。 事实上从十年代起，湿法蚀刻在美国就已经属于落后技术了。随着制程技术的提高，现在业界主流已经是干法蚀刻更胜一筹，因为干法蚀刻的各向异性更好，芯片的成品率自然更高。 也就是说在湿法蚀刻这个路线上，业界并没有走到尽头就更换了路线。 美国人技术比较先进，十年代之后制程技术发展到微米级，为了克服湿法蚀刻的缺点，应用材料公司直接推出了干法蚀刻的pvd技术，干脆另开炉灶了！干法蚀刻是用等离子体直接撞击晶圆，从化学反应变成了物理反应，干脆没有各向同性的问题了。 当然，后来干法蚀刻的物理性蚀刻也不能满足需求，于是业界又把湿法蚀刻捡回来了。但那也是利用离子蚀刻机将化学腐蚀剂离子化之后，在pecvd基础上搞的湿法蚀刻。 各向异性的问题，早在十年代美国人就解决了。 如今钟大华和吴牧想要走回头路，其实是挑了一条充满荆棘的小路在走。 想要参考、借鉴，可根本就没有先例可循。这样一来，难免让人有些心理打鼓了。 不过钟大华脸上根本看不出怀疑和忐忑，面对上千组实验需要的工作量，仿佛就像在说下班去哪里买菜一样。 “上千组实验？我看可不够！” 王中军摇了摇头，哼了一声：“这是你们计算配比和时间控制需要的实验数量，但是你想过没有，我们要的不是一根普通的针尖，而是一根50纳米宽的针尖！除了时间、配比以外，甚至一丁点微弱的空气流动，都能让你的实验结果出现偏差。除此之外，温度、湿度、空气杂质，这些还是能想到的干扰，真正做实验的时候，你会发现更多想都没想过的干扰源会出现……这些都必须一一排除，一千组实验你能保证出结果吗？” “我保证……不了。” 钟大华的声音仍然没有起伏，冷静的说道：“但硅探针本来就没有先例，甚至是原子力显微镜探针，我们自己都还不能生产。可这个项目只给了我们两个月时间，根本没有按部就班实现的可能。” “说实话，我认为吴牧这个思路简直是为我们量身定做。湿法蚀刻做探针虽然没有成熟技术可以借鉴，但各种腐蚀剂的性能数据还是很丰富的。这个思路最大的优势，就是不需要过往的基础，非常适合技术跳跃式发展。不管是亚微米还是微纳米，50纳米甚至是10纳米，甚至有一天1纳米的探针，只需要加大投入就一定能摸索出实现的参数。” “我承认我们有赌的成分。” “这个路线成功了，我们可以抛开当前的技术路线，走一条完全不同的纳米光栅制造体系。” “它确实没有人实现过，但我们讲科学，它从理论上有成功的可能。” “而且这种可能，也只有我们新科能够实现。” “哦，这怎么说？”王中军其实对这个思路还是满意的，确实很难，但有实现的可能。 但要说只有新科能实现，这又凭什么啊？凭胡文海长得帅吗？ “这方面我是有依据的。” 钟大华说的信誓旦旦，王中军明显兴趣更大了。 “在搜索相关文献的时候，我们发现了一个情况。实际上和美国数据库比起来，方案中需要的数据反而更多来自研究院的数据中心。” “各种腐蚀液配比的研究资料，近十年来反而是我们自己的研究院数据库更多。” “其实这并不难理解，因为我们知道，现在集成电路的制程已经进入了亚微米级，湿法蚀刻早就已经不适应需求了。但在功率半导体上，制程却并不是越小越好。事实上igct的制程基本都在3微米以上，igbt的制程也是在1到3微米之间。” “在业界普遍升级干法蚀刻之后，新科作为功率半导体的主要生产商，实际上仍然在大量的采用湿法蚀刻，并且持续多年在湿法蚀刻技术上投资改进升级。” “由此积累下来的生产和实验资料，早就已经超出了国际先进水平。” 钟大华和王中军并不知道，这就是胡文海带来的超前规划红利了。 igbt是功率半导体，制程上不仅是不需要跟随数字半导体的制程，甚至更小的制程对性能并不更友好。后世半导体制程都进入10纳米以内了，很多igbt的制程仍然只有05微米，这你敢信？ 而后世中国的半导体产业，同样仍然有湿法蚀刻的一席之地。因为市场上绝大多数的芯片，实际上并不需要最先进的制程。像绝大多数低成本ic、分立器件和微电子机械设备，仍然还是采用湿法蚀刻的。 湿法刻蚀虽然做不了精细活，但自己也是有优点的。比如说特定的腐蚀剂可以起到专门腐蚀某种材料的作用，只腐蚀材料而不伤害光刻胶、不伤害下层已经形成的结构，这种选择性刻蚀的特性，让它在粗制程下安全性更好，确保不会损伤衬底。 这几年在新科的持续投入下，国内对湿法蚀刻技术已经吃的差不多了，也因此积累了超过业界水平很多的数据资料。 正如钟大华所说，如果要走湿法蚀刻的路线，那新科还真是得天独厚。 王中军最后又看了一眼手上的资料，重重的点了点头。 “行，你等着，我去跟倪院长汇报一下。” …… 嘎吱一声，一辆军车在半导体所大楼前的广场上停了下来，它的后面跟着的是一连串的大客车、小轿车，甚至是吉普车。 “下车，整队！” 一群战士从军卡的后面跳了下来，迅速的排成了整齐的队伍，一个中队长这才转头向王中军跑了过去。 “是王中军同志吗，我是武警支队三中队的，我姓张。” “幸不辱命，这是你们点名指定的其他研究单位的研究员，总算是如期安全送达了！” 王中军收回看向车队的目光，和他握了握手：“张队长，你们来的真快，辛苦你了！” “不辛苦王同志，接下来我们还有很久时间可以相处，不需要这么客气的。” “那我们接下来的安全，就全托付给张队长了。” 王中军的方案报上去，作为所里目前最重要的项目，当然会得到无条件的支持。 实验多、时间紧，光凭半导体所，想在两个月时间里完成实验，几乎是不可能的事情。要搞攻关模式，从外面调人过来分担工作，保密问题就不能不重视。 张队长和他的支队不仅是保护他们的安全，同样也有监视和隔离的责任。 在当前的局势下，光栅项目至关重要，谁也不敢冒一丁点的危险。 而跟随他来的这些人，也都是王中军亲自点将，从绣城附近各大研究所抽调的骨干人员。这么一大批人突然抵达，半导体所的后勤人员简直忙疯了。 不过这显然是物有所值，很快这些人就分配了实验任务，然后带着从绣城各大学抓来的研究生，开始有条不紊的工作起来。 有人、有方案，幸运的是在这个思路下实验条件要求还不算特别苛刻。半导体所里无尘室是标配，其他的实验室项目纷纷给光栅项目让路，并且更多的原子力显微镜也被迅速送了过来。 原子力显微镜在国内还是稀罕货，好在这东西不是瓦森纳协定的禁运物资，新科披个马甲去国际上采购一圈，等实验做完了还能低价二手处理给国内其他研究所。 今天你借我一台，明天大不了我还你两台。 这样人、财、物迅速集结，半导体所俨然就是要打一场小型的科研攻关战。 苦虽然是苦了点，但知道、不知道内情的研究人员们却都没有什么抱怨的声音。家里有组织上照顾，两个月而已，做起实验来一晃神的功夫就过去了。 而这两个月以来，国际局势的变化又可以说是给所有人都上了一课。 不仅是落后就要挨打，而是不是第一就要挨打！要说国内没有因此憋着一口气，那是怎么都说不过去的。 想给美国人一个教训，想大声的对他们说“no！去尼玛的！” 带着这样的情绪，时间从盛夏进入了初秋。十月酒泉的气温最冷已经到了零下，但就在原本应该夜深人静的时候，一支支从全国各地赶来的车队，却在这里热火朝天的相遇了。 不论多么凛冽的寒风，竟然都无法熄灭他们的热情！ 王中军从车上跳下来，紧紧抱着手中的盒子，眼前看到的便是这样一番景象。