第81章组装光刻机
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转眼间，几过去。 蔡晋正在考虑着，是不是弄一台跑步机，来加强一下身体锻炼。 几下来，看似猛如虎，实则虚得很。 现在走路都有些飘。 “主人，底下联系,订购的机器设备到了。” 就在这时候，笨笨出声提醒。 蔡晋此时醒悟过来，之前他让华为帮他采购一批机器设备和材料。 没想到这么快时间，货就送到了。 蔡晋带着‘笨笨’出发到底下，正看到大门口有一辆大的运输车。 蔡晋让运输车到隔壁厂，然后将货物卸载下去。 激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光台、能量探测器、掩膜版...... 这些设备仪器，都是国产的设备，属于国际市场上相当普通的。 顶尖的设备,比较难搞到,这种普通货，就比较容易。 中国缺少的是中高端和顶尖的光刻机，但是并不缺少低赌光刻机！ 就如同，中国缺少的是高端和顶尖的芯片，但是并不缺少普通的芯片。 蔡晋要搞的，就是光刻机和半导体制造过程中必不可少的光刻胶。 光刻机，作为半导体制造业皇冠上的明珠，光刻机的意义不言而喻。 芯片在生产中需要进行20~30次的光刻，耗时占到Ic生产环节的50%左右，占芯片生产成本的三分之一。 通常意义来，只要解决光刻机的问题，那么芯片制造的工程，就完结了一半。 可惜高端光刻机主要掌控在ASmL、尼康、佳能、欧泰咳少数海外巨头手中，而世界上最先进的光刻机则是掌握在ASmL之手。 起光刻机，绝对是中国半导体行业的痛。 一台高端光刻机，比如Fx85型曝光机的成本不会超过两千万，但是尼康就敢以每台两亿这种丧心病狂的价格，卖给国内客户。 还一副你得求我的姿态！ 至于7nm光刻机,更是卖到每台税后十二亿元。 不但贵，你还买不到。 到目前为止，整个中国只有中芯国际，想方设法拿到了一台ASmL顶级光刻机。 现实，总是很无奈！ 中国大地，九百六十万平方公里，只有一台tokki顶级蒸镀机，也只有一台ASmL顶级光刻机！ 每年中国有大量的贸易顺差，赚取了大量的外汇，美元、欧元都不缺。 但是到底，美元、欧元都只是纸而已，人家用纸换取你大量的工业品。 你想用美元、欧元购买这些高科技产品，人家根本就不想卖给你！ 就算你通过各种手段买到，最终付出的代价，也比海外要高得多。 现在国内还有很多人真的认为，海外是民主、自由，是市场经济，努力赚美元、欧元,就可以拿美元、欧元去买高端设备，用于提升自身实力,结果却是，这个不能买、那个不能买。 技术，才是真正的王道。 钱买不来高科技，但是高科技却可以不断创造财富。 蔡晋开始动手，组装光刻机。 这样组装起来的光刻机，只是低端光刻机。 但是对于蔡晋而言，已经够了！ 按照明书和视频，花了五个时，终于组装成功一台光刻机。 将手放在这台光刻机上，虚拟面板出现： 【物品：有残缺的低端光刻机】 【经验值：0\/】 【优化点：250.8】 蔡晋愣了愣，没想到自己按照视频和明书组装的这台光刻机，竟然有残缺，也就是存在问题。 不过没关系，很容易就解决！ “系统，修复！” 唰！ 一道微光闪烁。 瞬间就完成修复，虚拟面板也变成了： 【物品：有残缺的低端光刻机】 【经验值：0\/】 【优化点：250.8】 蔡晋搬来相应的半导体材料，进行实验。 半导体芯片生产主要分为Ic设计、Ic制造、Ic封测三大环节。 所谓Ic，就是集成电路的英文简写。 Ic设计是高端技术，也是Inter等公司，能屹立于半导体行业巅峰最重要的因素之一。看书喇 主要根据芯片的设计目的，进行逻辑设计和规则制定，并根据设计图制作掩膜，以供后续光刻步骤使用。 而Ic制造，就是半导体芯片的制造了。 一般，要实现芯片电路图从掩膜上转移至硅片上，并实现预定的芯片功能。 包括了光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。 至于Ic封测，就是完成对芯片的封装和性能、功能测试，是产品交付前的最后工序。 Ic设计，蔡晋就不用担心，掌握着各种规格制程的工艺技术。 Ic制造，光刻又是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤，耗时长、成本高。 其中的难点和关键点，在于将电路图从掩膜上转移至硅片上。 这一过程，目前只能通过光刻，才能最有效的实现。 所以，光刻的工艺水平，往往直接决定了芯片的制程水平和性能水平。 而光刻的原理，实际上非常简单。 在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶，再用光线透过掩模照射在硅片表面。 被光线照射到的光刻胶，会发生反应。 此后，再用特定的溶剂洗去被照射或未被照射的光刻胶，就实现羚路图从掩模到硅片的转移。 这和中国古代的印刷术，实际上有一些相似之处，但光刻技术却比印刷术难了千万倍。 一般的光刻步骤，有气相成底膜、旋转涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜。 接着，就是进行检测，主要是显影检测，让合规的硅片进入后续的蚀刻流程。 所谓蚀刻，便是通过化学或物理的方法，有选择地从硅片表面，除去不需要材料的过程。 完成之后，就能通过特定溶剂，洗去硅片表面残余的光刻胶了。 当然，这是最简易的光刻步骤，在实际生产制造中，比这复杂了上百倍。 蔡晋从开始光刻，到最后洗去残余的光刻胶，几个步骤，就足足花了三个多时。 当然，这里面也是有他刚刚接触光刻机，cao作不顺手的因素。 看着这生产出来的300nm芯片，蔡晋脸上露出了笑容。 虽然是低端芯片，但是这是好的开始。 他的目标，又不是这些300nm芯片，切确地，不是为了芯片。 而是光刻机。 通过不断使用光刻机，去升级光刻机，这才是他的目的。 解决了制造机器，那么用机器来生产，就完全不是问题了。